\ \ Хладон 14

Хладон 14

Тетрафторметан

ТУ 301-14-78-920 с изменениями 1-4

Химическая формула: CF4

Внешние характеристики бесцветный газ, малотоксичен, химически инертен.

Технические требования и характеристики:

  1. Объемная доля основного вещества, %, не менее – 99,2
  2. Суммарная объемная доля низкокипящих примесей (азот+кислород, оксид углерода), %, не более – 0,7
  3. Суммарная объемная доля высококипящих примесей (гексафторэтан,диоксид углерода)), %, не более – 0,1
  4. Массовая доля воды, % не более – 0,001
  5. Температура кипения, °С – минус 128

Критические параметры:

  1. температура – минус 45,65°С,
  2. давление – 3,74 МПа,
  3. плотность – 625 кг/м3.

Характеристика пожароопасности: негорюч, взрывобезопасен.

Применение: для плазмохимического травления диэлектриков при изготовлении интегральных схем. В качестве хладагента, ингибитора пламени, стабилизатора разложения азона, разбавителя при проведении химических реакций, реагента для получения фторорганических продуктов, а также для приготовления дыхательных смесей при глубоководном погружении.